Словарь нанотехнологий
Ионная имплантация

Ионная имплантация

Термин

ионная имплантация

Термин на английском

ion implantation

Синонимы

ионное внедрение, ионное легирование

Связанные термины

биосовместимые покрытия

Определение

введение примесных атомов в твердое тело путем его бомбардировки ускоренными ионами.

Описание

При ионной бомбардировке твердых тел, наряду с процессами распыления поверхности, ионно-ионной эмиссии, образования радиационных дефектов и др., происходит проникновение ионов вглубь бомбардируемого объекта (мишени). Наиболее широко ионная имплантация применяется для легирования полупроводников с целью создания p-n переходов, гетеропереходов, низкоомных контактов. Ионную имплантацию в металлы применяют с целью повышения их твердости, износоустойчивости, коррозионной стойкости и т.д. Ионная бомбардировка высокотемпературных сверхпроводников семейства RBa₂Cu₃O_x может использоваться для создания высокоэффективных центров пиннинга и значительного увеличения плотности критического тока.

Авторы

• Наймушина Дарья Анатольевна

Ссылки

1. Ионная имплантация / Физическая Энциклопедия: т.2 в 5 т., М.: "Советская энциклопедия", 1990 - С. 197 - 199

Иллюстрации

модифицированный поверхностный слой керамики Источник: http://www.irishscientist.ie/2001/contents.asp?contentxml=01p241.xml&contentxsl=IS01pages.xsl

Разделы

Плазмохимическое, ионно- и электронно-лучевое модифицирование поверхности