Кантилевер
Термин
кантилевер
Термин на английском
cantilever
Связанные термины
атомно-силовая микроскопия, биосенсор, зонд, сканирующая зондовая микроскопия
Определение
устоявшееся название наиболее распространенной в сканирующей зондовой микроскопии конструкции микромеханического зонда
Описание
Кантиле?вер представляет собой массивное прямоугольное основание размерами примерно 1,5?3,5?0,5 мм с выступающей из него балкой (собственно кантилевером) шириной около 0,03 мм и длиной от 0,1 до 0,5 мм. Одна из сторон балки является зеркальной (иногда для усиления отражённого лазерного сигнала на неё напыляют тонкий слой алюминия), что позволяет использовать оптическую систему контроля изгиба кантилевера. На противоположном свободном конце балки находится игла, взаимодействующая с измеряемым образцом. Форма иглы может значительно изменяться в зависимости от способа изготовления. Радиус острия иглы промышленных кантилеверов находится в пределах от 5 до 90 нм, лабораторных - от 1 нм.
Как правило, вся конструкция, за исключением иглы, является кремниевым монокристаллом. Кантилеверы изготавливают также из нитрида кремния (Si3N4) или полимеров. Процесс производства схож с производством кремниевого электронного оборудования и включает сухое либо жидкофазное вытравливание подложки. Таким образом, кантилеверы удобны для массового производства.
Авторы
Ссылки
Иллюстрации
|
Рис. 1. Схематическая диаграмма, иллюстрирующая принцип работы АСМ. Источник: Scanning Probe Microscopy / Material Copyright 2008 Graham Leggett URL: http://www.leggett.group.shef.ac.uk/spm.htm |
|
Рис 2. Изображение кантилевера NCS16, полученное в лаборатории МГУ физического факультета. Источник: Киселев А.Г. Обзорная статья по AFM зондам URL: http://www.nanoscopy.org/tutorial/Cantilever/cantilever.htm |
Разделы
| Главная |