Наноэлектромеханические системы
Термин
наноэлектромеханические системы
Термин на английском
Nanoelectromechanical systems
Аббревиатуры
НЭМС, NEMS
Связанные термины
биоинженерия, биосенсор, лаборатория на чипе, микроэлектромеханические системы, многофункциональные наночастицы в медицине, нанотрибология
Определение
Наноэлектромеханические системы или НЭМС - устройства и технологии, объединяющие в себе электронные и механические компоненты размером до 100 нм.
Описание
Наноэлектромеханические системы являются следующим шагом минитюаризации для Микроэлектромеханических систем.
НЭМС используются в качестве высокочастотных осцилляторов (до 10 ГГц), наномоторов и модуляторов.
В качестве материалов для изготовления НЭМС широко используются графен и углеродные нанотрубки.
В настоящее время, Наноэлектромеханические системы могут изготавливаться как методами сверху-вниз, к которым относятся традиционные методы микроэлектроники (оптическая и электронно-лучевая литография), так и методами снизу-вверх, такими как молекулярное распознавание и самосборка.
Авторы
| Главная |