Словарь нанотехнологий
Просвечивающий электронный микроскоп

Просвечивающий электронный микроскоп

Термин

просвечивающий электронный микроскоп

Термин на английском

transmission electron microscope

Аббревиатуры

ПЭМ, TEM

Связанные термины

микроскопия, электронный микроскоп, микроскопия зондовая

Определение

разновидность электронного микроскопа - высоковакуумный высоковольтный прибор, в котором изображение от ультратонкого объекта (толщиной порядка 500 нм и менее) формируется в результате взаимодействия пучка электронов с веществом образца при прохождении через него насквозь.

Описание

Принцип действия просвечивающего электронного микроскопа практически аналогичен принципу действия оптического микроскопа,

только в первом используются магнитные линзы вместо стеклянных и электроны вместо фотонов. Пучок электронов, испускаемый электронной пушкой, фокусируется с помощью конденсорной линзы в маленькое пятно ~2-3 мкм на образце и после прохождения через образец фокусируется с помощью объективной линзы для получения проекции увеличенного изображения на

специальном экране или детекторе. Очень важным элементом микроскопа является апертурная диафрагма, расположенная в задней фокальной плоскости объективной линзы. Она определяет контраст изображения и разрешающую способность микроскопа. Формирование контраста изображений в ПЭМ можно объяснить следующим образом. При прохождении через образец пучок электронов теряет часть своей интенсивности на рассеяние. Эта часть больше для более толстых участков или для участков с более тяжелыми атомами. Если апертурная диафрагма эффективно отсекает рассеянные электроны, то толстые участки и участки с тяжелыми атомами будут выглядеть как более темные. Меньшая апертура увеличивает контраст, но  приводит к потере разрешения. В кристаллах упругое рассеяние электронов приводит к появлению дифракционного контраста.

Авторы

• Вересов Александр Генрихович, к.х.н.
• Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.

Ссылки

1. British standart BSI - PAS133:2007 Terminology for nanoscale measurement and instrumentation
2. Transmission Electron Microscopy (TEM) / 2000 MATTER URL: http://www.matter.org.uk/tem/
3. HREM / Wikipedia URL: http://en.wikipedia.org/wiki/HREM
4. Transmission Electron Microscopy (TEM) / University of Cambridge URL: http://www.msm.cam.ac.uk/doitpoms/tlplib/tem/index.php
5. Handbook of microscopy for nanotechnology/ edited by Nan Yao, Zhong Lin Wang.- Boston: Kluwer Academic Publishers, 2005.- 731 p.

Иллюстрации

Микрофотография сечения нанопроволоки CoSi2, выросшей на поверхности кремния Источник: Handbook of microscopy for nanotechnology / edited by Nan Yao. Zhong Lin Wang. 2005 Kluwer Academic Publishers

Разделы

Просвечивающая электронная микроскопия, в том числе высокого разрешения

Методы диагностики и исследования наноструктур и наноматериалов

Приборостроение для наноиндустрии

Метрология, стандартизация и сертификация продукции наноиндустрии (включая методики анализа и испытаний)