Словарь нанотехнологий
Субшероховатость

Субшероховатость

Термин

субшероховатость

Термин на английском

subroughness

Связанные термины

шероховатость

Определение

микрорельеф мельчайших элементов рельефа поверхности, участвующих в формировании ее шероховатости.

Описание

Субшероховатость обнаруживается с помощью современных прецизионных методов и средств исследования поверхностей, таких как сканирующий туннельный микроскоп и атомно-силовой микроскоп, которые обладают разрешающей способностью

порядка 1 - 10 нм. Субшероховатость формируется поверхностными неровностями с характерными размерами по высоте порядка 1 - 100 нм и по шагу - 10 -1000 нм. Образование субшероховатости тесно связано с внутренней структурой твердого тела, ее дефектами, а также процессами взаимодействия поверхности с окружающей средой (окисление, адсорбция).  

Авторы

• Добычин Михаил Николаевич, к.т.н.
• Горячева Ирина Георгиевна, д.ф.-м.н.

Ссылки

1. Myshkin N. K., Petrokovets M. I. and Chizhik S. A. Basic problems in contact characterization at nanolevel // Trib. Int. - Vol. 32, Issue 7, 1999 - pp. 379-385

Разделы

Планиризация поверхности, полировка

Управляемые методы формирования наноструктур