Словарь нанотехнологий
Фокусированный ионный пучок

В начало словаря

По первой букве
A-Z А Б В Г Д Ж З И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ш Э Я

Фокусированный ионный пучок

Термин

фокусированный ионный пучок

Термин на английском

focused ion beam

Аббревиатуры

FIB

Определение

концентрированный поток ионов, который используют в современных исследовательских приборах и технике для интенсивной и прецизионной обработки разных материалов

Описание

При получении и обработке неорганических материалов применяются жёсткие методы ионизации вещества, поскольку энергии связи атомов в твёрдом теле весьма велики, и для разрыва этих связей с образованием ионов необходимо еще более высокоэнергетическое воздействие.

Среди методов ионизации следует отметить:

В современной практике для получения нано/микроструктур широко используются жидкометаллические ионные источники (Ga+). Все большее распространение получают приборы с гелиевыми источниками. Для фокусировки ионного пучка используют электромагнитные линзы.

Использование фокусированных ионных пучков лежит в основе работы ионных микроскопов, приборов для прецизионной ионной резки и травления материалов, масс-спектрометров, адронных коллайдеров и др.

Авторы

Ссылки

  1. Сфокусированный ионный пучок как инструмент наноскульптора / 2004-2009 Nanonewsnet.ru URL: http://www.nanonewsnet.ru/articles/2008/sfokusirovannyi-ionnyi-puchok-kak-instrument-nanoskulptora
  2. Черезова Л.А. Ионно-лучевые методы в оптической технологии: Учебное пособие. - СПб: СПбГУ ИТМО, 2007. - 151 с.
  3. Handbook of microscopy for nanotechnology / edited by Nan Yao, Zhong Lin Wang.- Boston: Kluwer Academic Publishers, 2005.- 731 p.

Разделы

Фокусированная ионная резка

Наноимпринтинг и травление

Прецизионная обработка поверхности сложной формы

Методы обработки и формирования структур с прецизионным позиционированием (нанолитография, нанообработка, нанопечать, наноструйная техника и другое)

В начало словаря
Главная