Фокусированный ионный пучок
Термин
фокусированный ионный пучок
Термин на английском
focused ion beam
Аббревиатуры
FIB
Определение
концентрированный поток ионов, который используют в современных исследовательских приборах и технике для интенсивной и прецизионной обработки разных материалов
Описание
При получении и обработке неорганических материалов применяются жёсткие методы ионизации вещества, поскольку энергии связи атомов в твёрдом теле весьма велики, и для разрыва этих связей с образованием ионов необходимо еще более высокоэнергетическое воздействие.
Среди методов ионизации следует отметить:
В современной практике для получения нано/микроструктур широко используются жидкометаллические ионные источники (Ga+). Все большее распространение получают приборы с гелиевыми источниками. Для фокусировки ионного пучка используют электромагнитные линзы.
Использование фокусированных ионных пучков лежит в основе работы ионных микроскопов, приборов для прецизионной ионной резки и травления материалов, масс-спектрометров, адронных коллайдеров и др.
Авторы
Ссылки
Разделы
Прецизионная обработка поверхности сложной формы
Главная |