Словарь нанотехнологий
Механизмы роста тонких пленок
Механизмы роста тонких пленок
Термин
механизмы роста тонких пленок
Термин на английском
thin films growth modes
Связанные термины
механизм роста Вольмера - Вебера, механизм роста Странского - Крастанова, механизм роста Франка - Ван дер Мерве, островок
Определение
Выделяют три основных механизма роста тонких пленок. Эти механизмы получили свои названия по именам их авторов и включают:
- Механизм послойного роста Франка - ван дер Мерве;
- Механизм островкового роста Вольмера - Вебера;
- Механизм послойного-плюс-островкового роста Странского - Крастанова.
Описание
Авторы
- Зотов Андрей Вадимович, д.ф.-м.н.
- Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.
Иллюстрации
|
Рис. 1. Схематическое представление трех основных механизмов роста пленок, (а) - послойный рост Франка--ван дер Мерве; (б) - послойный-плюс-островковый рост Странского--Крастанова;
(в) - островковый рост Вольмера--Вебера.
|
Разделы
Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги)
Физические методы (лазерные, электронно-лучевые, ионно-плазменные) осаждения слоев нанометровых толщин
Искусственные (синтетические) низкоразмерные объекты