Словарь нанотехнологий
Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги)

Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги)

Подразделы

• Поликристаллические слои
• Эпитаксиальные слои

Статьи

• адгезия
• волокна, борные
• волокна, карбидкремниевые
• гетероэпитаксия
• зародышеобразование
• криоконденсация
• механизм роста Странского - Крастанова
• механизм роста Франка - Ван дер Мерве
• механизмы роста тонких пленок
• микроморфология
• островок
• физическое осаждение из газовой фазы
• химическое осаждение из паров металлорганических соединений
• эпитаксия газофазная