Эпитаксия твердофазная
Термин
эпитаксия твердофазная
Термин на английском
solid phase epitaxy
Аббревиатуры
ТФЭ, SPE
Связанные термины
гетероэпитаксия, гомоэпитаксия, эпитаксия молекулярно-лучевая, метод
Определение
способ наращивания эпитаксиальной пленки, при котором сначала при пониженной температуре осаждается неупорядоченная (аморфная) пленка, после чего проводится ее кристаллизация при более высоких температурах (которые, однако, ниже температуры плавления этого материала).
Описание
Авторы
Разделы
Методы нанесения элементов наноструктур и наноматериалов
| Главная |