Гомоэпитаксия
Термин
гомоэпитаксия
Термин на английском
homoepitaxy
Аббревиатуры
homoepi
Связанные термины
эпитаксия твердофазная, эпитаксия газофазная, эпитаксия жидкофазная, эпитаксия молекулярно-лучевая, метод
Определение
вид эпитаксии, при котором материал наращиваемого слоя и материал подложки один и тот же. Отличие возможно только в содержании легирующей примеси.
Описание
Технология гомоэпитаксии используется для выращивания слоев с иным содержанием примеси, чем в подложке, и для создания слоев с различным уровнем легирования.
Авторы
Разделы
Твердотельные гибридные и гетероструктуры на основе полупроводников, металлов и магнетиков
Нанотехнологии в фотонике и оптоэлектронике, компонентная база и устройства
Наноэлектроника, компонентная база и устройства
| Главная |