Словарь нанотехнологий
Сканирующая электронная микроскопия

В начало словаря

По первой букве
A-Z А Б В Г Д Ж З И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ш Э Я

Сканирующая электронная микроскопия

Статьи

-----------------------------------

Термин

сканирующая электронная микроскопия

Термин на английском

scanning electron microscopy

Синонимы

растровая электронная микроскопия

Аббревиатуры

СЭМ, SEM, РЭМ

Связанные термины

микроскоп, микроскопия, электронный микроскоп

Определение

Разновидность электронной микроскопии, в которой для зондирования исследуемой поверхности используется сканирование по ней сфокусированного пучка электронов. Для формирования изображения используется детектирование различных сигналов, включая вторичные электроны, обратно рассеянные электроны, рентгеновское излучение и ток через образец. Двумерная карта снимаемого сигнала и представляет собой изображение поверхности.

Описание

В сканирующем электронном микроскопе (рис. 1а) пучок электронов с первичной энергией ~1-10 кэВ фокусируется системой линз в пятно диаметром 1-10 нм на поверхности исследуемого образца. Сфокусированный пучок сканируется по поверхности с помощью системы отклоняющих катушек синхронно с электронным пучком в видеотрубке, которая используется в качестве оптического дисплея. Оба электронных пучка управляются одним и тем же генератором сканирования, поэтому увеличение просто равно отношению размеров дисплея и сканируемой области на поверхности образца. В сканирующем электронном микроскопе используется детектирование различных сигналов, включая вторичные электроны, обратно рассеянные электроны, рентгеновское излучение и ток через образец (рис. 1б). На рис. 1в проиллюстрирована структура энергетического спектра электронов, испускаемых с поверхности при ее облучении пучком электронов с энергией E0. На спектре указаны диапазоны энергий, соответствующие различным типам электронов, используемым для детектирования. Основные применения сканирующей электронной микроскопии - визуализация топографии поверхности (при регистрации вторичных электронов) и карты распределения элементов на поверхности (при регистрации обратно рассеянных электронов, оже-электронов и рентгеновского излучения).   

Авторы

Ссылки

  1. Введение в физику поверхности: Пер. с англ. / Оура Кендзиро, Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. - М. Наука, 2006. - 490 с.

Иллюстрации

Рис.1. а - Схематическая диаграмма, иллюстрирующая принцип работы сканирующего электронного микроско

Рис.1. а - Схематическая диаграмма, иллюстрирующая принцип работы сканирующего электронного микроскопа. б - Типы сигналов, генерируемых при облучении поверхности пучком первичных электронов. в - Энергетический спектр электронов, испускаемый образцом, облучаемым электронами с энергией Ep. На спектре отмечены диапазоны энергий, соответствующие вторичным электронам (ВЭ), обратно рассеянным электронам (ОРЭ) и оже-электронам (ОЭ).

Источник: Введение в физику поверхности: Пер. с англ. / Оура Кендзиро, Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. - М. Наука, 2006. - 490 с.

Разделы

Сканирующая электронная микроскопия

Методы диагностики и исследования наноструктур и наноматериалов

В начало словаря
Главная