Словарь нанотехнологий
Химическое осаждение из паров металлорганических соединений

Химическое осаждение из паров металлорганических соединений

Термин

химическое осаждение из паров металлорганических соединений

Термин на английском

metalorganic chemical vapour deposition

Аббревиатуры

MOCVD

Связанные термины

физическое осаждение из газовой фазы, эпитаксия газофазная

Определение

разновидность метода химического осаждения из газовой фазы, в которой в качестве прекурсоров используются летучие металлоорганические соединения.

Описание

Авторы

• Журавлева Наталья Геннадиевна
• Шляхтин Олег Александрович, к.х.н.

Разделы

Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги)

Методы нанесения элементов наноструктур и наноматериалов

Получение, диагностика и сертификация наноразмерных систем